WF6 a sitou itilize kòm yon matyè premyè pou pwosesis depo chimik vapè (CVD) tengstèn metal nan endistri elektwonik la. WSi2 ki fèt ak WF6 ka itilize kòm yon materyèl fil elektrik nan sikwi entegre gwo echèl (LSI), epi li kapab tou itilize kòm yon matyè premyè pou elektwòd semi-kondiktè, matyè premyè fliyò pou ajan chimik, katalis polimerizasyon, materyèl optik, elatriye.