WF6 a se sitou itilize kòm yon matyè premyè pou pwosesis depo chimik vapè (CVD) nan tengstèn metal nan endistri elektwonik la. WSi2 te fè soti nan WF6 ka itilize kòm yon materyèl fil elektrik nan gwo-echèl sikui entegre (LSI), epi yo ka itilize tou kòm yon matyè premyè pou elektwòd semi-conducteurs, fliyò matyè premyè pou ajan chimik, katalis polimerizasyon, materyèl optik, elatriye.